三维调节杆件真空密封结构设计及漏率检测

摘要

本文重点介绍了在真空腔内需要进行三维杆件的密封结构设计以及对该结构进行真空密封性能测试。利用焊接波纹管作为密封可动调节介质,并使用O形橡胶圈作为与腔体和杆件的密封材料,在大气压至1.0×10-6Pa之间具有良好的密封效果,和调节性能。