膨胀法真空系统的建立与不确定度来源分析

摘要

真空计量是真空技术应用和发展的重要手段,真空静态膨胀法是真空计量的基础标准,其一级膨胀法和二级膨胀法为保证真空量值的准确性、统一度提供了技术支持。它是利用波义耳—马略特定律,通过膨胀法或与石英规的直接比对校准法实现计量真空计的目的,其不确定度的分析符合JJF 1050—1996《工作用热传导真空计校准规范》和JJF 1062—1999《电离真空计校准规范》的要求。