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赵龙; 刘铮; 王强; 薛晨阳;
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 太原 030051;
北京卫星环境工程研究所 北京 100094;
A1N; 水听器; 单电极; 振动薄膜; ICP刻蚀; 阵列结构;
机译:水热法沉积锆钛酸铅钛多晶薄膜的微型针型水听器的研制
机译:基于锆钛酸铅铁电薄膜热极化方法的动态变形压电传感器的研制
机译:基于铅酸锆钛酸盐铁电薄膜热极化的压电动态变形传感器的研制
机译:氮化铝压电薄膜表面弹性波应变传感器的研制
机译:基于外延砷化铝镓薄膜的压电MEMS磁盘谐振器和滤波器。
机译:基于图案化氮化铝薄膜的高密度压电微加工超声换能器阵列的研制
机译:基于压电薄膜铝氮化铝,具有大扫描角度和单片综合角度传感器的2D扫描微镜
机译:高温退火研究薄氮化铝薄膜的压电性能
机译:氮化铝压电薄膜,其制造方法,压电材料和压电部件以及制造氮化铝压电薄膜的方法
机译:氮化铝压电薄膜,压电材料,压电部件以及制造氮化铝压电薄膜的方法
机译:氮化铝压电薄膜,压电材料,压电部件以及氮化铝压电薄膜的制造方法
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