退火温度对铁酸铋薄膜阻变特性的影响

摘要

在氧化铟锡衬底上利用溶胶凝胶法,分别在500.C和600℃退火条件下,制备了锰掺杂的铁酸铋薄膜.两种退火温度下制备出来的薄膜均具有典型的钙钛矿晶体结构,但高温退火的薄膜晶粒尺寸要比低温退火的薄膜大.此外,随着退火温度的升高,薄膜的介电常数增大,漏电流也随之增加.通过测量约120个电流电压循环曲线,研究了这两种退火温度下锰掺杂铁酸铋薄膜的阻变效应,发现高温退火下薄膜的阻变性能稳定性要比低温退火的薄膜好.最后,基于氧空位相关的导电丝理论,进一步讨论分析了退火温度对薄膜介电、漏电性能和阻变特性的影响.