超精密运动平台隔振系统性能分析与实验研究

摘要

分析了极微细电火花加工的三维超精密运动平台隔振系统的组成及工作原理,指出了运动平台隔振保障技术是能否达到微加工精度的重要因素;对一级主动隔振的上平台和二级隔振,采用ANSYS软件进行了模态分析和研究,同时采用激振实验与ANSYS分析进行比较,结果表明二者具有较好的一致性,从而得出二级隔振的振动特性.通过实际的隔振效果测试,得出此二级隔振系统进一步提高了隔振效果,为三维运动平台达到高精度提供了保证.