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杨和梅; 陈云福; 徐秀英;
南京农业大学工学院,南京,210031;
无机非金属材料; Al2O3薄膜; 溅射气压; 直流磁控反应溅射; 介电性能;
机译:通过反应性DC磁控溅射制备的P型SNOX薄膜的组成依赖性结构和电性能:氧气压力和热处理的影响
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机译:溅射功率,气压和衬底温度对CdS薄膜结构和光学性能的影响
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机译:Al2O3缓冲层对溅射VO2薄膜性能的影响
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机译:溅射靶构件,制造溅射靶构件,溅射靶,溅射膜,制备溅射膜,薄膜体,层压结构和有机EL器件的方法的方法
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