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申辉; 张国军; 赵鹏; 薛南; 张文栋;
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室和电子测试技术重点实验室,太原030051;
MEMS; 矢量水听器阵列; 潜标; 数据存储;
机译:基于NBR透声帽的MEMS仿生矢量水听器设计
机译:基于“三明治”式封装结构的MEMS仿生矢量水听器性能研究
机译:基于MEMS的T形矢量水听器的设计
机译:MEMS矢量水听器分组阵列的实验研究
机译:基于MEMS的就地测斜仪-加速度计阵列的开发,用于监测和评估岩土系统。
机译:基于单MEMS矢量水听器的DOA估计研究
机译:用于3-D mEms和mEms阵列的微机电系统(mEms)和焊料自组装。
机译:MEMS(微机电系统)阵列,其制造方法以及基于该阵列的MEMS装置的制造方法
机译:基于相同的MEMS阵列,其制造方法和MEMS器件制造方法
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