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挠性臂挠性偏差及其末端位移的测量

         

摘要

本文叙述了挠性臂偏差的测量过程和方法.挠性臂的偏差信号由位置敏感传感器获取.当挠性臂的挠度发生变化时,位置探测器通过检测激光光斑位置获取挠性臂挠度的大小.在测量出挠性臂挠性偏差的基础上,我们可以得到挠性臂的末端精确位移及速度.

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