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Preparation of TiO_2 Film Deposited by MOCVD and Quality of Film Measured by Impedance Method

         
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ＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎｏｆＴｉＯ＿２ＦｉｌｍＤｅｐｏｓｉｔｅｄｂｙＭＯＣＶＤａｎｄＱｕａｌｉｔｙｏｆＦｉｌｍＭｅａｓｕｒｅｄｂｙＩｍｐｅｄａｎｃｅＭｅｔｈｏｄＣｈｅｎＹａｎｓｈｅｎｇａｎｄＤｕａｎＳｈｕｚｈｅｎ（陈燕生）（段淑贞）Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ...

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