Magnetron sputtering deposition of FePt/Ag_n multilayers for perpendicular recording

摘要

[FePt/Ag ]_n multilayers 被 RF 磁控管劈啪作响在玻璃底层上扔，前 situ 为 30 min 在 550 ℃退火了。插入的 Ag 层厚度的效果和 multilayers 的结构和磁性上的双性人层重复(n) 的数字被调查。这被发现有插入的 Ag 层厚度在的增加的在里面飞机和 out-of-plane coercivitiesvaried 之间的差别[FePt 2 nm/Ag x nm ]_(10 ) multilayers。到在里面飞机 coercivity 的 out-of-plane coercivity 的比率与 5 nm 的 Aglayer 厚度到达了最大的价值，显示 Ag 层厚度起在获得垂直取向的一个重要作用。为[FePt 2 nm/Ag 5 nm ]_n multilayers，垂直取向被 n 也影响。当 n 作为 8 被给时，到 in-planecoercivity 的 out-of-plane coercivity 的比率的最大的价值出现了。这被发现[FePt 2 nm/Ag 5 nm ]_8 有 520 kA/m 和一架低在里面飞机的高垂直的 coercivity 88 kA/m 之一，它显示出强壮的垂直 anisotropy。