Improved electromigration reliability of surface acoustic wave devices using Ti/Al-Mo/Ti/Al-Mo electrodes

著录项

• 来源
  《稀有金属：英文版》 |2009年第006期|P.554-558|共5页
• 作者

  LI Dongmei; LIU Ming;

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• 作者单位

  Institute;

  of;

  Microelectronics,;

  Chinese;

  Academy;

  of;

  Sciences,;

  Beijing;

  100029,;

  China;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 声光器件;
• 关键词

  可靠性改进; 表面声波; 钼电极; 纯铝; 电迁移; SAW器件; 钛; 装置;

  机译：可靠性改进;表面声波;钼电极;纯铝;电迁移;SAW器件;钛;装置;
• 入库时间 2022-08-19 04:21:10