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半导体制造群集工具国际系列标准即将问世

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为在1995年初颁布一整套半导体制造群集工具标准,国际上正在积极努力。群集工具是指由全集成化独立加工的组件(组件且用机械方法连接在一起)构成的半导体制造设备。此标准的确立有利于提高半导体生产量和成品率以及提高制造的灵活性。负责拟

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来源
《质量技术监督研究》|1995年第1期|P.9-9|共1页
作者
陈善海;
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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类生产行业管理;
关键词
半导体制造; 系列标准; 半导体设备和材料; 工具标准; 半导体生产; 成品率; 机械方法; 生产系统; 组件; 通信标准;
入库时间 2023-07-25 18:48:24

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