干泵技术的再次升级——Edwards CXS系列干泵实现高可靠性及高成本效益

摘要

干泵按其术语称为“干”，是因为不再依赖于液体密封。因而可以直接应用于苛刻、腐蚀、潮湿和灰尘环境。干泵不会使正在加工的材料降级或受到污染，所以能够维持和保护至关重要的化学工艺完整性，包括制药生产。26年来，Edwards公司的干泵技术变革了真空产生及应用于工业生产的方式，并经过了非常成功的发展过程。