满足更高要求的高效过滤器 高效过滤器超低浓度PAO检漏方法

摘要

高效过滤器主要用于捕集0．3μm以下的颗粒灰尘及各种悬浮物，通常作为制药企业洁净车间的末端过滤装置，提供洁净的空气。洁净室是否能达到和保持设计的洁净级别，在一定程度上与高效过滤器的性能及其安装有关。因此对洁净车间的高效过滤器进行检漏测试，确保其符合要求，是保证车间洁净环境的重要方式之一。