微测量中的PZT应用研究

摘要

压电陶瓷调制器（ＰＺＴ），在微测量中作为一种执行机构或传感器已得到广泛应用。我们应用ＰＺＴ调制器作为微位移驱动器．研制的磁盘表面非接触测量仪可实现Ｒａ从０．１６到０．０１μｍ的高精表面的精确测量。本文介绍仪器中所用的ＰＺＴ的测试分析结果。文中将在简述ＰＺＴ的设计加工之后，着重介绍其位移－电压响应特性测试以及为提高响应曲线的线性度所采取的校正措施。结果表明．经串一适当容量的电容可使ＰＺＴ响应特性的线性度改善为１．０８％．使测量仪中的精度有了可靠保证。