利用CCD对位相全息图表面浮雕深度的快速测量

摘要

利用干涉显微镜、面阵ＣＣＤ及微机系统，实现对位相全息图表面浮雕深度的快速测量，方法简便，测量精度高，能直以显示浮雕形貌。文中还对测量误差和测量条件的选择进行了分析。