三角法位移传感器测头设计研究

摘要

本文以直射式激光三角测头为例，导出了满足Ｓｃｈｅｉｍｐｆｌａｇ成象条件下的待测面位移与象位移间的准确关系，作为仪器结构参数设计的基础。并对提高测量精度和实用性的各项改进设计进行了分析。