激光技术在PZT陶瓷薄膜贴装中的应用研究

摘要

当前PZT陶瓷薄膜材料制成的微电子机械器件(MEMS)已经成功的应用在高容量的服务器硬盘上,可以使硬盘在不增加碟片的情况下,硬盘容量大幅增加。PZT贴装质量的好坏对硬盘产品质量有非常重要的影响,本文将激光技术应用于PZT陶瓷薄膜的贴装工序中,通过实验研究,确定激光加热工艺参数对PZT贴装质量的影响规律。