SiNX/SiO2/Si的双层膜太阳能电池研究

摘要

采用热氧化法制备二氧化硅减反射膜,采用PECVD制备氮化硅减反射膜,对双层薄膜带来的钝化效果进行了表征,对比了SiNX/SiO2双层减反膜和SiNX单层减反膜的区别,并研究了不同氧化工艺对扩散方阻的影响,双层减反射膜对晶硅太阳能电池的影响。结果表明:使用双层SiNX/SiO2减反膜的钝化效果更好,晶硅电池转化效率更高。