首页> 中文期刊> 《电子制作》 >现代传感器中的微电容检测技术

现代传感器中的微电容检测技术

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文介绍了微电容检测在原理、制作和应用上的优势.综述了微电容检测技术在微加速度传感器、微陀螺和微压力传感器上的应用,并详细阐述了微电容检测电路的基本原理.最后分析总结了微电容检测技术的发展方向.

著录项

来源
《电子制作》 |2018年第19期|57-60|共4页
作者
闫世源;
展开▼
作者单位

洛阳市第一高级中学,河南洛阳,471000;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词
微电容检测; 微加速度器; 微陀螺; 微压力传感器;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于四相检测技术的微电容传感器 [J] . 杨三序 . 传感器与微系统 . 2003,第010期
2. 数控火焰切割机自动调高系统中微电容检测技术研究 [J] . 邹爱成 ,陈宗恒 ,赵家政 . 制造业自动化 . 2007,第001期
3. 星载微推进器推力测量中电容位移传感器极板不平行误差分析 [J] . 王大鹏 ,金星 ,周伟静 . 兵工学报 . 2018,第004期
4. 硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究 [J] . 邢维巍 ,彭振江 ,樊尚春 . 计测技术 . 2012,第S1期
5. 液体中微悬臂传感器共振检测技术的研究 [J] . 刘宁 ,林云生 ,左燕生 . 微细加工技术 . 2007,第004期
6. 硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究 [C] . XING Weiwei ,邢维巍 ,PENG Zhenjiang . 2012年全国压力计量测试技术交流年会 . 2012
7. 基于MHD微角振动传感器的卫星微角振动检测技术研究 [A] . 吴文韬 . 2019

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号