基于滑模控制的MPCVD设备电源系统设计

摘要

根据企业对微波设备高压电源系统的实际需求,设计了以软开关脉宽调制(PWM)移相全桥拓扑为主电路,MKV31F256VLH12芯片为控制核心的开关电源控制系统.为了提高电源输出功率的稳定性,在电源系统中引入滑模控制(SMC)技术,并给出设计过程.在Matlab/Simulink环境下,对采用比例微分积分(PID)控制和SMC方法分别进行了建模仿真,并制作出电源样本进行实验.实验结果表明,主电路能够实现零电压软开关(ZVS),满足设计指标.SMC方法相比于PID控制,电源控制系统的动态特性与鲁棒性都有所改善.