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袁俊国; 于非;
浙江大学;
感应加热装置; 高频感应加热; 锁相环控制; 移相式;
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机译:在存在较大的B0变化的情况下进行稳健的时移轮辐脉冲设计同时通过并行传输缓解通平面移相B1 +效应和特定吸收率
机译:用过热蒸汽进行晶圆清洁设备高频感应加热装置的最优设计
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机译:EUV移相SRAF面膜采用嵌入式移相层的方式
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