工艺参数对TVS器件电性能的影响

摘要

采用液态源扩散法制备了双向型瞬变电压抑制二极管(Transient Voltage Suppressor Diode,简称TVS)器件.研究了扩散温度、扩散时间、电阻率、钝化保护等工艺参数对TVS器件电性能的影响.扩散温度、扩散时间的增加将使扩散结的结深增加;电阻率的提高及结深的增加,将使TVS器件的雪崩击穿电压增大;合适的钝化保护方法将有助于减小器件的反向漏电流.给出了电压和扩散时间之间的经验估算公式,该公式可用来指导得到希望的TVS目标电压档.据验算,该公式的误差在10%以内.