一种10kW 40kHz正弦波镀膜电源的研制

摘要

正弦波中频电源广泛应用于溅射镀膜领域.设计了一种以IGBT为功率器件的10 kW 40 kHz正弦波镀膜电源,主电路采用移相全桥电路进行电压调整,输出电路采用LCLC四阶滤波电路.详细分析设计了主电路以及控制电路,并依据理论分析结果采用PSIM进行了电路仿真和样机实验,验证了理论分析的正确性.实验结果证明,正弦波电源输出工作在40kHz,具有负载调节范围宽、效率高的特点.