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刘庚胥; 普丁;
不详;
二氧化硅薄膜; 氮化; 等离子体; 薄膜;
机译:通过等离子体增强原子层沉积制备的鲁棒SiO2栅极介电薄膜涉及脱甲丙基氨基硅烷(DIPA)和氧等离子体:在非晶氧化物薄膜晶体管上施用
机译:氧等离子体和氮等离子体处理对SiO2纳米粒子的表面改性
机译:磁FE3O4 @ SIO2 @ AG @ COOH NPS / AU薄膜带混合局部表面等离子体/表面等离子体POLATITON模式,用于表面增强拉曼散射检测
机译:氩射频感应耦合等离子体,氮高功率微波诱导等离子体以及氩或氮辉光放电等离子体中激发机理的比较研究
机译:活性氮中硅的热氮化(薄介电体,等离子体处理,超大型材料,氮化硅,氧化硅)
机译:通过局部表面等离子体激元和表面粗糙化增强嵌入的Si量子点/ SiO2多层薄膜的电致发光
机译:使用等离子体增强的化学 - 蒸汽沉积的SIN薄膜和薄的热SiO2 /等离子体SIN堆叠表面钝化硅太阳能电池
机译:等离子体增强化学气相沉积siO2薄膜的原位红外反射吸收光谱表征
机译:使用远程冷却氮等离子体在基板上沉积薄层的方法(使用远程冷氮等离子体在基板上沉积薄膜的方法)
机译:薄氮化硅介电体的多次氮等离子体处理
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