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寒冰; 人丁;
不详;
玻璃 ; 磁控管溅射; AR膜; 减反射膜 ;
机译:利用电离区域模型研究反应性Ar / O_2大功率脉冲磁控管溅射放电中的氧动力学
机译:在金属,过渡和中毒模式下操作的AR / O-2混合物中Ti反应性溅射过程中的等离子体表征:直流和高功率脉冲磁控管排放的比较
机译:反应性Ar / O2大功率脉冲磁控管溅射放电的电流-电压-时间特性
机译:使用烧结陶瓷靶在同一动态玻璃镀膜线上使用平面磁控管和旋转磁控管获得的ITO涂层性能的比较
机译:溅射靶腐蚀及其对长时间直流磁控溅射镀膜的影响
机译:磁控管溅射Aln /六边形BN /蓝宝石基材的外延生长
机译:反应性Ar / O2大功率脉冲磁控管溅射放电中周期性失控的观察
机译:直流磁控反应溅射制备多层光学镀膜
机译:可用于真空镀膜厂的溅射镀膜装置,包括具有凸缘和载体轮廓的支撑单元,以及平行于轮廓布置的溅射磁控管,其中磁控管相对于轮廓可调节的距离固定
机译:氧化物的反应性沉积例如真空镀膜厂中的管道磁控管布置中的氧化铝,通过在管道磁控管中的真空镀膜厂的纵向延伸中引导基材
机译:磁控管-真空镀膜系统中的传导气体,包括将基板传送到磁控管,沿靶材的轴向沿纵向延伸在两侧引入反应性气体以及可控地调节反应性气体流量
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