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电子回旋共振; 等离子体沉积; 非晶硅; 多晶硅; 薄膜;
机译:ECR等离子体沉积非晶氟化碳膜的红外和光学性质
机译:使用乙炔-氧等离子体对氢化的类金刚石非晶碳膜进行ECR沉积
机译:低温ecr-等离子体辅助的mocvd微晶和非晶GaN沉积和表征电子设备
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:高密度Ni纳米粒子的等离子体辅助原子层沉积用于非晶In-Ga-Zn-O薄膜晶体管存储
机译:非晶,微晶和多晶硅薄膜化学气相沉积中自由基反应过程及其控制的研究
机译:用来自ECR等离子体的低能离子生长的掺铒非晶和结晶al(sub 2)O(sub 3)和La(sub 2)O(sub 3)薄膜
机译:使用脉冲状ECR等离子体清洁TFT-LCD的基板和高速沉积高质量非晶非晶硅薄膜的装置和方法
机译:非晶/多晶硅薄膜晶体管的制造例如LCD显示器涉及掺杂硅以形成一个晶体管的源极和漏极,以及沉积层在另一个晶体管的栅极上方形成绝缘
机译:低温多晶硅薄膜的组成及其在低温下的直接淀积和电感耦合等离子体化学气相沉积设备制造多晶硅薄膜的方法
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