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笑生;
无;
电子回旋共振 ; 等离子体 ; ECR ; CVD ;
机译:在简单的尖端柱下产生的氦ECR等离子体中电离程度的空间均匀性
机译:具有径向不同ECRH功率沉积的HL-2A ECRH L型等离子体中杂质传输的研究
机译:均匀磁场对目标表面上激光产生的Cu等离子体和沉积颗粒的影响
机译:在ECR放电产生的镜像受限等离子体中,在双等离子体共振条件下产生电磁辐射
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:等离子体增强原子层沉积法制备硅衬底上Al2O3膜的均匀性和钝化研究
机译:由ECR等离子体源产生的用于薄膜沉积的等离子体的特性
机译:先进的ECR离子源,具有大的均匀分布的ECR等离子体积,用于产生多电荷离子束
机译:用于产生改进的ECR均匀等离子体的ECR设备
机译:使用ECR等离子体源的电子束产生装置可提高电子产生效率并降低低压下产生的均匀电子的强度
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