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周清明;
无;
薄膜; 磁控管; 沉积;
机译:具有不平衡磁系统的磁控管设备中沉积的TiOx涂层的椭圆偏振法:氧浓度和磁控管与基材的距离的影响
机译:CrSi单靶磁控管系统制备的纳米复合CrN / Si _3N_4涂层的组织与硬度的关系
机译:半导体P型铜氧化铁氧化物薄膜通过杂交反应性 - HIPIMS ECWR和反应性 - HIPIMS磁控管等离子体系统沉积
机译:垂直磁控管源封闭磁场非平衡磁控溅射合成Cr-Zr-N薄膜的结构和力学性能
机译:压力辅助多注射器单喷嘴沉积系统,用于制造异质支架。
机译:无线电频率等离子体增强反应磁控管在光子晶体上激光沉积α-SiNx的激光二极管用于端面钝化
机译:通过射频辅助闭合场双磁控管系统进行等离子体诊断和ITO薄膜沉积
机译:多个DC磁控管沉积源在大面积均匀涂层中的应用(预印本)
机译:在基板上沉积薄膜,例如通过使用磁控管沉积目标材料的第一膜,并使用磁控管进行反应性物理气相沉积工艺沉积第二膜,从而在半导体器件中形成衬里或阻挡层
机译:单阴极物理气相沉积的多焦点磁控管设计
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