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陈文浩;
无;
薄膜工艺; 等离子体 ; 低温 ;
机译:在低温(300℃)化学气相沉积工艺中采用氢等离子体和硅自由基的新型双注入系统沉积微晶/非晶硅薄膜
机译:用于薄膜工艺的Mirrortron溅射装置低温和无等离子体的硅基薄膜超高速沉积实现成膜速度比传统方法高10倍以上
机译:Limn2O4薄膜薄膜工艺中的等离子体诊断锂离子电池应用
机译:大气压等离子体CVD应用于低温薄膜晶体管Si成膜工艺
机译:利用低温等离子体工艺制备离子导电薄膜的研究
机译:低温氧化氧等离子体中的Zn3N2薄膜制备p型ZnO:N薄膜
机译:在光伏应用中的多级共施载工艺中对聚酰亚胺基材低温Cu(In,Ga)Se2薄膜生长的研究
机译:用于非制冷红外探测器应用的新型低温工艺生长的钙钛矿薄膜的表征
机译:产生低温等离子体的方法,利用这种低温等离子体的流体,粉末材料和固体物质的等离子体处理工艺及其制造设备
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