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甘德昌;
无;
硅面垒探测器; 等离子体柱; 腐蚀;
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机译:横向腐蚀抑制了通过微电子层形成通孔的多重腐蚀,该微电子层易于在含氟等离子体中腐蚀,然后在含氧等离子体中腐蚀
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