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一弓;
无;
等离子体; 化学气相沉积; 金刚石膜;
机译:微波等离子体增强CVD和RF等离子体增强CVD法沉积类金刚石碳膜的磨损寿命评估
机译:等离子体增强化学气相沉积法与金刚石沉积过程有关的CH4 H2 Ar系统的等离子体化学
机译:研究Ar对从CH4 + Ar,RF等离子体沉积获得的膜中形成类金刚石键的影响
机译:使用915MHz等离子体辅助CVD金刚石反应器沉积超纳米结晶金刚石上的超纳米结晶金刚晶晶片的均匀性
机译:大气压非平衡等离子体化学处理金刚石薄膜的等离子体辅助化学气相沉积(PACVD)的实验研究
机译:新型金刚石薄膜合成策略:无氢的微波等离子体CVD法制备甲醇和氩气氛
机译:钻石电影的特殊问题/沉积方法,表征和应用。使用磁性活性等离子体CVD和微波等离子体CVD沉积金刚石膜。
机译:用于研究仪器的pECVD(等离子体增强化学气相沉积)金刚石薄膜
机译:改进的微波等离子体CVD,例如大表面(例如窗玻璃)上的金刚石层的沉积涉及使用一个或多个单独的电子源通过电子发射来使等离子体稳定
机译:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)氮化硅阻挡层,用于高密度等离子体化学气相沉积(HDP-CVD)介电层
机译:诸如边缘环的部件包括具有高纯度SP3键的化学气相沉积(CVD)金刚石涂层,用于等离子体处理系统
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