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甘德昌;
无;
ECR; 等离子体沉积; 氧化铝; 薄膜;
机译:硅太阳能电池等离子体增强化学气相沉积(PECVD)中NH3对原子层沉积(ALD)Al2O3的等离子体氮化
机译:脉冲弥散强化的FeCrAl合金的脉冲等离子体辅助扩散键合
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机译:新型涂料的热腐蚀;磁控溅射离子镀CrAlYN,HIPIMS沉积的TiAlYN / CrN + Alox的Hauzer涂层和由双磁控溅射在750℃50hrs测试中沉积的Hauzer的Al2O3覆盖层的TiAlN
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:Al2O3的等离子体辅助原子层沉积和聚对二甲苯C双层封装用于慢性植入式电子产品
机译:等离子体增强原子层沉积沉积的Al2O3薄膜中的电子捕获和结构缺陷
机译:ECR等离子体辅助沉积al2O3和弥散强化alO2
机译:具有弥散键合增强层的Al2O3陶瓷工具
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