气体团粒离子束表面蚀刻

机译：使用化学气体辅助聚焦离子束的亚波长光栅光子应用增强了钙钛矿杂化钙钛矿的蚀刻，表面损伤恢复和亚微米图案化

机译：使用聚焦离子束通过气体辅助蚀刻（GAE）在高密度聚乙烯（HDPE）上开发功能性表面

机译：含氯气体的反应离子束蚀刻：铝的束表征和蚀刻

机译：气体团簇离子束的表面平滑和蚀刻

机译：在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响（使用三氟化甲基），并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。

机译：聚合物/富勒烯共混膜的选择性湿蚀刻用于表面和纳米形态控制的有机晶体管和灵敏度增强的气体传感器

机译：使用化学气体辅助聚焦离子束的亚波长光栅光子应用增强了钙钛矿杂化钙钛矿的蚀刻，表面损伤恢复和亚微米图案化

机译：在透射电子显微镜样品上通过离子束蚀刻表面污染层控制去除

机译：用于构造的纹理化表面棘轮泵，是通过离子束的辐射而在板中形成潜在的凹槽的形式，其离子束轴相对于板的表面倾斜一定角度，从而产生离子轨迹的蚀刻

机译：反应性离子或离子束蚀刻石英或石英玻璃以进行成型或结构化，在惰性材料制成的设备中使用含氟蚀刻气体以及其他含氟和/或氢气体

机译：使用气体处理和脉冲蚀刻离子束蚀刻