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马民;
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射频放电; 等离子体蚀刻; 四氟化碳; 等离子体诊断;
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机译:使用血浆诱导的CF4分解在CO2中的气体绝缘开关装置中残留CF4检测的新方案
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机译:SF6和CF4等离子处理PET聚合物表面疏水化的比较
机译:使用ar / CF4 / CH4对比例线室进行老化测试 (74:20:6),ar / CF4 / CH4(67:30:3),ar / CF4 / CO2(65:30:5)混合物用于HERa-B muon探测器
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机译:CF4等离子体在循环流化床反应器中对高分子细粉进行HDPE CF4表面处理
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