退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
民生;
无;
多晶硅; 等离子体; 四氟化碳; 化学干蚀刻; 氮; 氧;
机译:CF4和CF4 / N2混合气体中CF4和CF4 / N2混合气体的击穿特性
机译:NO转化为NO / N2 sub>,NO / O2 sub> / N2 sub>,NO / C2 sub> H4 sub> / N2 sub>和NO / C2 介质阻挡放电等离子体的sub> H4 sub> / O2 sub> / N2 sub>系统
机译:CF4 / CH2F2 / N-2 / Ar电感耦合等离子体中SiC,SiO2和Si的刻蚀特性:CF4 / CH2F2混合比的影响
机译:LIF测量N2 / O2和N2 / CO2等离子体流中的NO
机译:O2 / N2和CO2 / N2环境中亚沥青煤燃烧动力学的实验验证
机译:CF4等离子体处理HfO2栅电介质的非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的电性能和可靠性提高
机译:硅腐蚀中使用的混合气体等离子体中化学过程的建模。第1部分:CF4 / O2用于蚀刻硅的气态混合物等离子体中化学过程的建模。第1部分:CF4 / O2
机译:CF4 / O2等离子体的局部压力分析
机译:CF4 / O2 / N2等离子体中有效的干式环氧丙烷及其混合氧化物干蚀刻工艺
机译:CF4 / O2 / N2等离子体中act系氧化物及其混合氧化物的有效干法蚀刻工艺
机译:CF4 / O2 / N2等离子体中有效的dry系氧化物及其混合氧化物干法刻蚀方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。