退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
蔚晓;
无;
化学气相沉积; 二氧化硅; 薄膜; 等离子体源; 双源;
机译:等离子体增强化学气相沉积生长的Si / SiO2多层膜中的中间相硅结构和纳米晶硅的光致发光
机译:Cu / TaN / SiO2 / Si多层结构中通过离子化金属等离子体溅射和化学气相沉积制备的铜膜的比较研究
机译:使用TMOS / O / Sub 2 / Su / Su / Sir和等离子体诊断增强氧化硅膜和氮氧化硅膜的化学气相沉积的等离子体增强了化学气相沉积
机译:对二氧化硅膜的热化学气相沉积(CVD)和多晶硅膜的高密度等离子体CVD过程中颗粒形成和传输的研究。
机译:使用埋入式通道设计提高等离子体增强化学气相沉积SiO2波导的环境稳定性
机译:通过从表面波产生的等离子体提取的原子物种通过化学气相沉积形成SiO2膜
机译:等离子体增强化学气相沉积siO2薄膜的原位红外反射吸收光谱表征
机译:等离子体处理工具,双源等离子体刻蚀机,双源等离子体刻蚀方法以及形成平面线圈双源等离子体刻蚀机的方法
机译:等离子体处理工具双源等离子体刻蚀机,双源等离子体刻蚀方法以及形成平面线圈双源等离子体刻蚀机的方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。