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蓉佳;
无;
等离子体源; 离子植入; 等离子体加工; 蚀刻; 等离子体势; 辉光放电源; PⅢ; 清洗;
机译:通过进行dc的高级氦气辉光放电源13.56 MHz射频等离子体中的自偏置电流
机译:等离子体悬浮离子注入控制等离子体浮动电位的直流辉光放电源的实验结果
机译:利用电子回旋共振或辉光放电N_2等离子体源在氮化镓工艺中在GaAs(100)上进行GaN层结晶的研究
机译:NH_3-H_2 RF辉光放电对聚合物进行等离子体处理;耦合等离子体和表面诊断
机译:仿真中具有可控的偶极势的可控纳米粒子组装和驱动。
机译:使用表面增强拉曼光谱法可控制地将分析物和细胞定位在等离子体平台上进行聚糖传感
机译:利用光发射光谱法对射频辉光放电中基于压力的等离子体状态进行空间表征
机译:用一种大气均匀辉光放电等离子体对表面进行净化和灭菌
机译:利用辉光等离子体和辉光等离子体胶囊使病毒病原体化的方法和装置
机译:一种利用辉光放电手段对材料结构进行改性的方法以及一种利用辉光放电手段对材料结构进行改性的装置
机译:利用双辉光放电等离子体进行溅射清洁的设备和方法
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