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卫冰;
无;
平衡磁控管; 非平衡磁控管; 磁控溅射; 制备; 装饰性硬涂层;
机译:反应性直流非平衡磁控溅射制备的TiN / Si3N4超硬纳米复合涂层
机译:非平衡磁控溅射制备AgAl2O3纳米陶瓷太阳选择性涂层的结构和光学性能
机译:TiC过渡层对封闭磁场非平衡磁控溅射镀覆系统制备的DLC基功能梯度涂层的影响
机译:用非平衡磁控溅射法制备氮气加入硬碳膜的制备和滑动表征
机译:使用RF平面磁控管溅射制备碲化镉和硫化镉薄膜。
机译:不同偏置电压Cr-Al-C涂层溅射磁控管的化学和形貌特征
机译:非平衡磁控溅射沉积Cr和Crn硬质涂层的制备与表征
机译:闭合场非平衡磁控溅射 - 用于紧固件的环境安全腐蚀和磨损涂层
机译:在有机半导体层上形成膜的方法,涉及使用具有预定磁场强度的非平衡磁控管进行溅射工艺
机译:可以切换两种磁通分布模式(平衡模式/非平衡模式)的磁控溅射设备,使用该设备和双模式磁控溅射设备形成无机成膜材料的膜的成膜方法,以及使用该装置在低温下形成膜的无机成膜材料的成膜方法
机译:磁控溅射装置,用于使用该装置的无机薄膜材料的磁通量配置(平衡型/非平衡型)可切换成膜方法,以及用于非磁性薄膜的双型磁控溅射装置和成膜方法成型B
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