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李兵;
无;
电离物理气相沉积; 螺旋波天线; 等离子体源; 半导体; 沉积; 铜;
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机译:高密度圆柱形等离子体源中螺旋波的波分散和天线辐射电阻的测量和代码比较
机译:电感耦合等离子体对IPVD掺杂Ti掺杂ITO薄膜结构和电学性能的影响
机译:利用螺旋波开发射频等离子体源,用于研究聚变机中的等离子体与材料的相互作用
机译:关于感应等离子体源以及m = 0伪表面和螺旋波在低磁场下的传播的研究。
机译:使用多层推挽式等离子体源的VHF(162 MHz)-PECVD用于柔性有机电子设备的氮化硅沉积
机译:用于1米长的多模聚合物螺旋波导的40 Gb / s数据传输,用于板级光学互连
机译:可用于ILC的超铁螺旋波荡器的磁场。
机译:螺旋波等离子体源,用于这种等离子体源的天线以及使用这种等离子体源进行等离子体清洁或中和空间表面的方法
机译:电离物理气相沉积-IPVD的磁增强电容性等离子体源
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