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小型烧结炉装置的设计与制作

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设计与研制了一种小型的用于制备薄膜样品电接触的烧结炉装置.该装置简单、实用,特别适用于半导体霍尔样品电极的烧结.

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来源
《物理实验》|2000年第9期|40|共1页
作者
文尚胜; 范广涵;
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作者单位

华南理工大学应用物理系,广州,510641;

华南师范大学MOCVD实验室,广州,510631;

华南师范大学MOCVD实验室,广州,510631;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类冶金机械、冶金生产自动化;
关键词
烧结炉; 电接触; 霍尔样品;
入库时间 2023-07-25 16:11:24

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