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利用真空变温电阻测试仪研究VO2薄膜的电阻特性

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摘要

利用磁控溅射技术在普通玻璃基片上制备了VO2薄膜,晶体结构和表面形貌分析表明制备的样品主要具有VO2相,结晶情况良好.利用自制真空变温薄膜电阻测试仪器测试了VO2薄膜的电阻率随温度变化曲线,观察到钒氧化物的电阻突变和热滞现象.

著录项

来源
《物理实验》 |2012年第12期|1-4|共4页
作者
朱亚彬; 王子潇; 郑凯;
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作者单位

北京交通大学理学院物理实验中心,北京100044;

北京交通大学理学院物理实验中心,北京100044;

北京交通大学理学院物理实验中心,北京100044;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
磁控溅射; VO2薄膜; 电阻率; 温度;

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