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真空蒸发镀膜

         
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摘要

针对真空蒸发制备铝膜进行了详细地介绍,主要包括了真空的获得、真空的测量以及蒸发制备铝的的原理和主要事项进行了深入地探讨,改进工作对真空系统的理解和掌握有着指导意义.

著录项

  • 来源
    《物理实验》 |2017年第5期|27-31|共5页
  • 作者

    甄聪棉; 李壮志; 侯登录; 郭革新; 李玉现;

  • 作者单位

    河北师范大学物理科学与信息工程学院,河北石家庄050024;

    河北师范大学河北省新型薄膜材料重点实验室,河北石家庄050024;

    河北师范大学物理科学与信息工程学院,河北石家庄050024;

    河北师范大学河北省新型薄膜材料重点实验室,河北石家庄050024;

    河北师范大学物理科学与信息工程学院,河北石家庄050024;

    河北师范大学河北省新型薄膜材料重点实验室,河北石家庄050024;

    河北师范大学物理科学与信息工程学院,河北石家庄050024;

    河北师范大学河北省新型薄膜材料重点实验室,河北石家庄050024;

    河北师范大学物理科学与信息工程学院,河北石家庄050024;

    河北师范大学河北省新型薄膜材料重点实验室,河北石家庄050024;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 薄膜物理学;
  • 关键词

    真空; 蒸发镀膜; 平均自由程;

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