基于金属氧化物半导体电容的高速硅光调制器

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• 来源
  《物理与工程 》 |2004年第3期|63-63|共1页
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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 结构、器件 ;
• 关键词

  金属氧化物半导体电容; 高速硅光调制器; 光电子器件; 调制带宽;