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赵伟; 侯清润; 陈宜保; 何元金;
清华大学物理系,北京,100084;
半导体硅; Seebeck系数; 电阻率;
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机译:用于纳米级CMOS集成电路的硅,硅锗和硅碳源极/漏极结的低电阻率接触方法。
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