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全军; 孙萌涛;
岭南师范学院物理系,广东 湛江 524048;
北京科技大学数理学院,北京 100083;
ICP离子源; 负载线圈功率; 采样锥孔径; 流场分布;
机译:FOI的等离子源Groovy ICP ICP线圈和每个凹槽中蚀刻气体的独立控制使用最新的设备实现出色的均匀性和蚀刻特性
机译:使用新型探头直接测量负载线圈中的RF电压和电流并进行ICP功率的相应计算,研究标准和低流量ICP的电性能
机译:用半经验方程式描述ICP分析区域中电子数密度与r.f.功率,负载线圈上方的高度,载气和水的流速
机译:根据电动发电机系统的超导磁线圈负载试验的功率特性结果
机译:研究,分析和优化负载下的一对螺旋锥齿轮(研究,分析和优化负载下的螺旋锥齿轮)。
机译:RF-ICP离子源增强的活性氮等离子体气氛引起的Ti-Al-N薄膜的微观结构和力学性能的变化
机译:半经验方程描述ICP分析区中的电子数密度作为R.F的功能。负载线圈高于负载线,载气和水流率。
机译:一种分离的阻抗匹配/负载线圈组件,用于方便的ICp火炬空间转换。
机译:ICP窗加热器在源功率线圈和ICP窗之间集成了法拉第屏蔽或浮动电极
机译:保护装置免受由单片集成电路中的负脉冲电压引起的寄生虫影响的影响,包括用于引导负载的功率装置或感应负载,以及用于功率装置的控制装置。
机译:具有可变阻抗特性的荧光灯发生器-具有晶体管,线圈和电容器,在启动和负载时会影响内部阻抗
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