千吨级多晶硅生产技术获新突破

摘要

6月2日，由洛阳中硅高科承担的三个国家“十一五”科技支撑计划课题——“大型三氯氢硅合成、提纯工艺技术与关键装置研究”、“高效加压还原炉系统研究”、“大型低温加压四氯化硅氢化技术与装置研究”和一项参与完成的课题“多晶硅标准、专利体系建设与研究”，顺利通过了验收评审。这四项科技成果解决了规模化多晶硅生产中的瓶颈问题，打破了国外技术封锁，填补了国内空白，标志着我国千吨级多晶硅生产集成工艺技术又获新突破。