激光干涉测长系统中导轨—床身系统的二维动刚度实验研究

摘要

实践表明,激光干涉测长系统中的导轨—床身系统的动刚度对其测量精度有重大影响,但由于缺乏可靠、高精度的测量方法而往往未能在设计中,或使用中,予以避免或补偿。本文提出了一种采用双路激光干涉仪测试方法,成功地测量了三层结构的导轨—床身系统的二维动刚度。文中介绍了它的原理及装置,并对最终的测量结果进行了讨论。