工作波长短于10nm的软X射线多层膜

摘要

本文对工作波长短于１０ｎｍ的软Ｘ射线多层膜正入射反射镜的国内外现状作了简单的介绍和分析，给出选择多层膜材料的一些原则，并结合本组情况选择了Ｒｕ／Ｂ４Ｃ、Ｒｈ／Ｂ４Ｃ和Ｍｏ／Ｂ４Ｃ三种材料组，在波长８．０ｎｍ附近设计并计算出多层膜的结构和反射率等性能参数。