微电子机械系统在生物医学领域中的应用

摘要

本文介绍了国际上微电子机械系统研究的状况以及发展趋势，阐述了目前微电子机械系统在生物医学中的应用和研究开发的方向；并详细地介绍了日本在微小血管检测系统方面所作的研究工作，最后提出了应用于医疗领域中的微电子机械系统的发展前景。